支持圖形類型:支持各類常用 Mark 圖形
重復(fù)對(duì)位精度:±5um
其他功能:產(chǎn)品換型時(shí),伺服模組自動(dòng)調(diào)節(jié)相機(jī)位置
圖像功能:高精度定位補(bǔ)償,動(dòng)態(tài)圖像修正檢測(cè)
顯示功能: 實(shí)時(shí)vidio跟蹤,及時(shí)修正
支持定位類型:抓Mark或Panel edge定位