型號 | GSI01-050-300 | GSI01-100-500 | GSI02-050-500 | GSI03-100-1300 | GSI04-100-1600 |
可檢測視野范圍 | 270 | 500 | 500 | 1300 | 1600 |
相機分辨率 | 16K | 16K | 16KX2 | 16KX3 | 16KX4 |
像素精度/μm | 17 | 30 | 17 | 30 | 30 |
光源 | 白色(可定制) | ||||
成像方式 | 亮場/暗場(可定制) | ||||
掃描速度≤mm/s | 400 | 600 | 400 | 600 | 600 |
檢測內(nèi)容:臟污、破板、漏液、劃傷、崩缺等。
檢測精度:破片檢150μm/清洗后100μm
AOI檢測規(guī)格要求:檢測精度25μm;漏檢率:1%;過殺率:5%
缺陷類型:異物、殘膠、劃傷、崩邊、凹凸點、水漬、玻璃屑等。
檢出率:>98%,過檢率:5%,漏檢不良率:0.5%,檢測異物顆粒大小0.05mm??以上(TFT產(chǎn)品、黑白產(chǎn)品)
破片檢:玻璃破片
清洗后:Panel表面Glass Chip、破損、劃傷、水漬、凹點、凸點、異物,邊緣貝殼破損等